В Научно-исследовательском институте точного машиностроения создали первую в России установку для нанесения тонких слоев материалов на кремниевые пластины диаметром 300 мм. Это важный этап в производстве микросхем, который раньше был возможен только с зарубежным оборудованием.
Новое оборудование позволяет работать и с пластинами 200 мм, что упрощает тестирование на действующих производствах и подготовку к переходу на современные технологии. Разработчики смогли быстро локализовать производство компонентов, а сам процесс обработки пластин соответствует мировым стандартам.
@blackponed

