Новое оборудование предназначено для работы с кремниевыми пластинами при производстве микросхем, процессоров и других компонентов микроэлектроники. Ранее подобные устройства серийно в России не выпускались.

Разработка удерживает пластину с помощью электростатического поля без механического прижима. Благодаря этому уменьшается вероятность повреждения или загрязнения чувствительной поверхности во время производства.

Столы рассчитаны на работу в вакуумном оборудовании. Их будут устанавливать как в новые отечественные установки, так и в уже действующие производственные линии.

@blackponed